La humitat de l'aire es refereix a la quantitat de vapor d'aigua continguda a l'aire. El contingut d'humitat a l'aire s'expressa generalment com a humitat relativa (%). La humitat relativa buida es denota per RH. És el percentatge de la densitat de vapor d'aigua d1 que es troba realment en el volum d'aire de la unitat i la densitat de vapor d'aigua saturada d2 a la mateixa temperatura,
RH (%) = (d1 / d2) x 100%
O la pressió real de l'aigua aèria P1 i la pressió de vapor d'aigua saturada a la mateixa temperatura,
RH (%) = (P1 / P2) x 100%
La humitat relativa es pot mesurar utilitzant un termòmetre de bombeig humit i sec o un higròmetre de cabell.
Per garantir un funcionament continu i fiable del dispositiu, a més d'un control estricte de la temperatura, la humitat s'ha de controlar dins del rang especificat. La humitat relativa anormal no només afecta la fiabilitat i la longevitat de l'equip, sinó que també fa que el personal se senti incòmode. La humitat relativa de l'habitació s'ha de controlar entre un 45% i un 65%.